真空系統用泵的選擇方法?
真空系統是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套
真空系統。目前,該系統廣泛應用于電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。
例如有一系統用羅茨真空泵機組抽氣,要求在1 mbar入口壓力時有600升/秒的抽速,并長期工作,問
應選擇多大抽速的前級泵。
先假定用30升/秒的前級泵時,壓縮比K=600:30=20得出K=20時zui大排出壓力為30 mbar。
由此得出,當選用30升/秒前級泵時,在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的,但高于1.5 mbar
入口壓力工作時就選用大一些前級泵了。該例中,工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的
前級泵可以滿足上述真空系統的抽氣要求。
另外應當考慮的是,對預抽時間的要求問題,如果正常工作時間遠比預抽時間長,可選較小的前級泵;
假如真空室較大,而且要求很快預抽,就要用較大的前級泵,有時為了更好發揮設備的效率,機組裝
有較大的預抽泵,在正常工作后停掉它,而用較小的前級泵維持,這樣做是為了節約功率。
對羅茨真空泵機組的極限壓力的要求,也是選擇前級泵的必須考慮的,對極限真空度要求較高(達
1X10-3Pa~1X10-2 Pa壓力)一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。極限真空
度要求在(1X10-2 Pa~1X10-1Pa)之間可選用單級油封機械泵作為前級泵,極限真空度要求在133~
1333Pa之間可選用往復式真空泵或液環式真空泵作為前級泵。
當選用往復式或液環式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時,前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-
1/4,不能太大,否則將使壓縮比過大,造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。
選用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質,是否含有可凝性氣體,是大量的還是微量
的。如果含有腐蝕性氣體,就不能選用油封機械泵,油封機械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的
氣體,否則將會使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時,也必須采用帶有氣鎮裝置的
油封機械泵作為前級泵。
為了獲得在低入口壓力(1~100pa)時的高的抽氣速率,可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的
前級泵組成的三級或四級機組,此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。